特許

J-GLOBAL ID：200903017634576415

透過型共焦点レーザー顕微鏡

発明者： 小池 博 ,  鈴木 尚二
出願人/特許権者： 小池精機株式会社
代理人 (1件)： 田中 雅雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-186846
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020383
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 透過型共焦点レーザー顕微鏡の透過側対物レンズの合焦が手軽に、しかも正確に、安定した状態で行えるようにする。【構成】 透過型共焦点レーザー顕微鏡の資料台下の透過側対物レンズ10を光学軸方向に移動できる対物レンズ部10aと固定配置のリレーレンズ部10bとをもって構成し、対物レンズ部10aの移動がリレーレンズ部10b以後の光路に変化を生じさせない構造とし、透過側対物レンズ10の後方側光路に凹面鏡11への光路と異なった向きに切り換える光路切換器24を備え、これによって切り換えられた別の光路の凹面鏡11と同等位置に透過側対物レンズ合焦用の光源18により照射されるターゲット25を備える。

請求項（抜粋）：

対物レンズを通して集光されたレーザースポット光を資料表面側から照射して走査させ、該レーザースポット光の該資料の裏側への透過光を前記照射側対物レンズと同等の透過側対物レンズを通し、該レンズで結像させた位置に設けた凹面鏡に反射させて逆行させ、該逆行光を受光素子に受光させるようにしてなる型式の透過型共焦点レーザー顕微鏡において、透過側対物レンズの後方に前記凹面鏡への光路と異なった向きに切り換える光路切換器を備え、該光路切換器によって切換えられた別の光路の前記凹面鏡と同等位置に透過側対物レンズ合焦用の光源により照射されるターゲットを備えたことを特徴としてなる透過型共焦点レンズ顕微鏡。