多点測定装置及び方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-095671
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294609
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】光学測定器の測定チャンネルが1つであっても、光路を選択して切替えることにより、複数点の同時測定が行える多点測定装置を提供する。【解決手段】光源1,2と、光源の光を試料の複数点に照射するための複数本の投光ファイバ5,6と、当該複数点からの透過光、反射光、散乱光等を採集する複数本の受光ファイバ8,9と、複数本の受光ファイバ8,9で採集した光を、いずれか1本の受光ファイバに通す1つの透過孔つきの回転円板12からなるビームセレクタ10と、MCPD4とを備える。【効果】回転円板12を回転させて、透過孔を測定したいチャンネルの光を通す位置にもっていき静止させれば、その受光ファイバのみ光を透過し測定が行える。他のチャンネルの光を測定するときは、回転円板を所定角回転させればよい。

請求項（抜粋）：

光源と、光源の光を試料の複数点に照射するための複数本の投光ファイバと、当該複数点からの透過光、反射光、散乱光等を採集する複数本の受光ファイバと、複数本の受光ファイバで採集した光を、いずれか1本の受光ファイバに通す光路選択手段と、光学測定器とを備えることを特徴とする多点測定装置。

IPC (4件)：

G01N 21/01 , G01J 1/02 , G01J 1/04 , G01M 11/00

FI (5件)：

G01N 21/01 Z , G01J 1/02 M , G01J 1/02 P , G01J 1/04 L , G01M 11/00 Z

Fターム (25件)：

2G059BB10 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059FF01 , 2G059FF08 , 2G059GG03 , 2G059JJ17 , 2G059JJ23 , 2G059KK00 , 2G059MM01 , 2G065AA04 , 2G065AA08 , 2G065AB22 , 2G065AB23 , 2G065AB24 , 2G065AB26 , 2G065BA40 , 2G065BB02 , 2G065BB21 , 2G065BB25 , 2G065BC13 , 2G065BC28 , 2G065DA01 , 2G065DA08 , 2G065DA15

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平2-150749

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