特許

J-GLOBAL ID：200903017640189458

ガス回収装置

発明者： 富田 伸二 ,  野沢 成禎
出願人/特許権者： テイサン株式会社
代理人 (1件)： 北村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287143
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129561
出願日： 1995年11月06日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 回収効率が高く運転経費の安いガス回収装置を提供すること。【解決手段】 CVD装置Aと、排ガス回収部Dと、排ガス精製部Eとを設けたガス回収装置において、液体窒素を収容自在な不活性ガス貯留部D1を備え、不活性ガス貯留部D1に、液体窒素との気液接触を可能に排ガスを供給する排ガス供給部D2を備え、不活性ガス貯留部D1において液化した回収液化ガスを排出する回収液化ガス排出部D3とを備えて前記排ガス回収部Dを構成し、回収液化ガス受入部E10、気化器E22および液体窒素と、気化した前記回収液化ガスとの熱交換を行う凝縮器E23、洗浄用ガス回収部E25a,E25bを備え、冷却用不活性ガス排出部E27を備えて前記排ガス精製部Eを構成し、冷却用不活性ガス排出部E27を、不活性ガス供給路A3に接続してある。

請求項（抜粋）：

希釈用不活性ガスを供給する不活性ガス供給路(A3)と洗浄用ガスを供給する洗浄用ガス供給路(A4)とを接続してあるガス導入部(A6)を備えるとともに、排ガスを放出する排ガス排出部(A7)を備えてなるCVD装置(A)を設け、前記CVD装置(A)からの排ガスから、前記洗浄用ガスを冷却して回収する排ガス回収部(D)と、液化回収された排ガスを精製する排ガス精製部(E)とを設けたガス回収装置であって、前記希釈用不活性ガスを、前記洗浄用ガスの沸点よりも低い沸点を有するガスから構成するとともに、前記洗浄用ガスの沸点よりも低い沸点を有する冷却用不活性ガスを液体状態で収容自在な不活性ガス貯留部(D1)を備え、前記不活性ガス貯留部(D1)に、前記冷却用不活性ガスとの気液接触を可能に前記排ガスを供給する排ガス供給部(D2)を備え、前記不活性ガス貯留部(D1)において液化した回収液化ガスを排出する回収液化ガス排出部(D3)とを備えて前記排ガス回収部(D)を構成し、前記排ガス回収部(D)からの回収液化ガスを受け入れる回収液化ガス受入部(E10)を設けるとともに、前記回収液化ガスを気化させる気化器(E22)と、前記希釈用不活性ガスと同じ組成からなる液体状態の冷却用不活性ガスと、気化した前記回収液化ガスとの熱交換を行う凝縮器(E23)と、前記凝縮器(E23)で凝縮した洗浄用ガスを回収する洗浄用ガス回収部(E25a),(E25b)とを備え、気化した前記冷却用不活性ガスを排出する冷却用不活性ガス排出部(E27)を備えて前記排ガス精製部(E)を構成し、冷却用不活性ガス排出部(E27)を、前記不活性ガス供給路(A3)に接続してあるガス回収装置。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  B01D 8/00 ,  C23C 16/44

FI (3件)：

H01L 21/205 ,  B01D 8/00 Z ,  C23C 16/44 E