特許
J-GLOBAL ID:200903017642540810
2波長反射防止膜
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高梨 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-337945
公開番号(公開出願番号):特開平6-160602
出願日: 1992年11月25日
公開日(公表日): 1994年06月07日
要約:
【要約】【目的】 紫外域と可視域の双方で安定した反射防止を行った2波長反射防止膜を得ること。【構成】 光の入射側から基板面上へ順に低屈折率材料と中間屈折率材料を交互に中心波長をλ0 としたとき、光学的膜厚を第1層が0.2λ0 〜0.4λ0 、第2層が0.05λ0 〜0.2λ0 、第3層が0.2λ0 〜0.4λ0 、第4層が0.4λ0 〜0.6λ0 となるように積層し、2つの波長の光に対して反射防止を行ったこと。
請求項(抜粋):
光の入射側から基板面上へ順に低屈折率材料と中間屈折率材料の薄膜を交互に積層し、紫外域の波長と可視域の波長の2つの波長の光に対して反射防止を行ったことを特徴とする2波長反射防止膜。
IPC (3件):
G02B 1/10
, G03F 7/20 521
, H01S 3/101
引用特許:
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