特許

J-GLOBAL ID：200903017643917950

基板用カセット

発明者： 下 島 健 次
出願人/特許権者： 日本バルカー工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-062998
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273179
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 金属製の芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆して構成したストッパの前記芯材とフッ素樹脂との間に生ずる隙間の内部に、薬液等の液体が染み込んで溜まる液溜り現象を確実かつ経時的に防止して液切れを良くする。【構成】 金属製の芯材4をフッ素樹脂性のチューブ5で被覆した棒部材をストッパ3として使用した基板用カセットにおいて、前記芯材4の長さを前記チューブ5の長さより短くして該チューブ5の両端に空間部20を形成するとともに、この空間部20内にフッ素樹脂製の栓部材21を挿着し、この栓部材21の外周面と前記空間部を区画するチューブ5の内周面とを、例えは溶解性フッ素樹脂からなる糊22を介して融着して前記ストッパ3を構成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

金属製の芯材をフッ素樹脂性のチューブで被覆した棒部材をストッパとして使用した基板用カセットにおいて、前記芯材の長さを前記チューブの長さより短くして該チューブの両端に空間部を形成するとともに、この空間部内にフッ素樹脂製の栓部材を挿着し、この栓部材の外周面と前記空間部を区画するチューブの内周面とを融着して前記ストッパを構成したことを特徴とする基板用カセット。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/48 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/31 ,  B65D 81/24

FI (2件)：

H01L 21/306 K ,  H01L 21/31 F