特許
J-GLOBAL ID：200903017648476928
アクチュエーチドミラーアレーおよびそれを含む光投射システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-094579
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005500
出願日： 1994年05月06日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 M×N個のアクチュエーチドミラーアレーを短絡させないことによって、M×N個のアクチュエーチドミラーアレー内のアクチュエータの各々が独立的に機能しうる光投射システム用M×N個のアクチュエーチドミラーアレーを提供する。【構成】 M×N個の開口11アレーの各々が金属12で充填され、M×N個の接続端子13の各々が、前記金属が充填されたM×N個の開口の各々の上に位置し、M×N個のアクチュエータ30の各々には、上面、下面および一対の外面が設けられ、一対のエレクトロディスプレーシブ部材、前記一対のエレクトロディスプレーシブ部材のあいだに位置した共通信号電極およびアクチュエータの一対の側面上の一対の基準電極を各々備え、M×N個のミラーの各々が前記M×N個のアクチュエータの各々と結合され、その上面に位置する。
請求項（抜粋）：
光投射システムに用いられるM×N(MおよびNは定数)個のアクチュエーチドミラーアレーであって、M×N個の開口アレーおよびM×N個の接続端子アレーを有する基板と、M×N個のアクチュエータアレーと、M×N個のミラーアレーと、前記M×N個のアクチュエータアレーと前記基板とのあいだに位置して、前記M×N個のアクチュエータアレーと前記基板を共に保持し、前記M×N個の接続端子の各々と前記M×N個のアクチュエータの各々の共通信号電極を電気的に接続する等方性導電性接着剤とを含み、前記M×N個の開口の各々は金属で充填されており、前記M×N個の接続端子の各々は、前記金属が充填されたM×N個の開口の各々の上に位置し、前記M×N個のアクチュエータの各々には、上面、下面および一対の外面が設けられ、一対のエレクトロディスプレーシブ部材、前記一対のエレクトロディスプレーシブ部材のあいだに位置した共通信号電極およびアクチュエータの一対の側面上の一対の基準電極を各々備え、前記M×N個のミラーの各々は前記M×N個のアクチュエータの各々と結合され、その上面に位置するアクチュエーチドミラーアレー。
IPC (2件)：
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