プレート受渡しシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-233310
公開番号（公開出願番号）：特開平10-076491
出願日： 1996年09月03日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】鉛直なプレート載置面を有する竪型のプレートステージに対して、プレートを落下させたり破損させたりすることなく確実にプレートを受け渡す。【解決手段】プレートを略鉛直な状態で保持して搬送することのできるロボットハンド50と、プレート載置面71に鉛直支持されたプレート10にソフトタッチしてプレート載置面に吸引する手段を備えるプレートステージ70とでプレート受渡しシステムを構成する。ロボットハンドは、プレートの下部端面を支持しプレートの側縁部を挟持してプレートを略鉛直な状態で保持する。プレートステージは、プレート載置面に垂直な方向に突出しプレートの端面に接触してプレートを支持するプレート支持部材73a〜73dと、プレートの裏面を吸着してプレート載置面に垂直な方向に移動可能なバネ性を有する吸引部材84を備える。

請求項（抜粋）：

略鉛直なプレート載置面を有するプレートステージとプレート搬送手段とを含み、前記プレートステージのプレート載置面と前記プレート搬送手段との間でプレートの受渡しを行うプレート受渡しシステムにおいて、前記搬送手段は、前記プレートの下部端面を支持し前記プレートの側縁部を挟持して前記プレートを略鉛直な状態で保持するロボットハンドと、前記ロボットハンドを前記プレートステージのプレート載置面に隣接する受渡し位置に駆動する駆動手段とを備え、前記プレートステージは、前記プレート載置面に垂直な方向に突出し前記プレートの端面に接触して前記プレートを支持するプレート支持部材と、前記プレートの裏面を吸着して前記プレート載置面に垂直な方向に移動可能なバネ性を有する吸引部材とを備えることを特徴とするプレート受渡しシステム。

IPC (4件)：

B25J 15/06 , G03F 7/20 511 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 15/06 Z , G03F 7/20 511 , H01L 21/68 G , H01L 21/30 502 J

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