特許
J-GLOBAL ID：200903017651178407
洩れ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-326267
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011408
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 内容積が微小な容器の洩れの有無を検査することができる洩れ検査装置を提供する。【構成】 洩れの有無を検査すべきワークを収納したワークカプセルと、洩れの無いマスタ容器を収納したマスタカプセルとに空気圧源からそれぞれ一定の空気圧を与えると共に、その空気圧供給路をそれぞれ別々に遮断する電磁弁を設け、この電磁弁で空気圧供給路を遮断した状態で容積可変手段によってワークカプセル側とマスタカプセル側のそれぞれの内容積を一定量ずつ変化させ、この容積変化によりワークカプセル側とマスタカプセル側との間の容積差によって発生する圧力差を拡大して発生させるように構成する。
請求項（抜粋）：
A.一定圧力の空気圧を発生する空圧源と、B.この空圧源が発生する空気圧がそれぞれ与えられるワークカプセルおよびマスタカプセルと、C.このワークカプセルおよびマスタカプセルに通じる通路に挿入され、通路を開閉する一対の制御弁と、D.上記ワークカプセルとマスタカプセルとの間の圧力差を測定する差圧検出器と、E.上記ワークカプセルとマスタカプセルに与えられた圧力をそれぞれ一定量ずつ変化させる容積可変手段と、によって構成した洩れ検査装置。
引用特許：
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