特許

J-GLOBAL ID：200903017651392190

荷電粒子線装置およびその観察方法

発明者： 大蔵 昭光 ,  佐藤 貢 ,  山田 理 ,  中泉 泰 ,  羽崎 栄市
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166720
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343019
出願日： 1992年06月03日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 試料を特定する識別情報を入力するだけで当該試料に最適な装置条件が自動的に設定されるようにする。【構成】 識別情報入力手段101からは試料を特定するための識別情報が入力される。装置条件記憶手段102には、電子線装置107に関する各種の装置条件が、識別情報に基づいて選択できるように記憶されている。装置条件選択手段103は識別情報に応答した装置条件を装置条件記憶手段102から選択する。選択された装置条件は表示手段104上に表示される。装置条件変更手段106からは、表示手段104上に表示された装置条件の一部を変更する場合に、その変更のためのデータが入力される。装置条件設定手段105は装置条件に基づいて電子線装置107の各部の設定値を自動的に調節する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を試料に照射し、試料から二次的に発生する信号を検出して観察像を得る荷電粒子線装置において、試料を特定するための識別情報を入力する手段と、各種装置条件を識別情報に基づいて選択できるように記憶する装置条件記憶手段と、前記入力された識別情報に応答した装置条件を前記装置条件記憶手段から選択する装置条件選択手段と、前記選択された装置条件を自動設定する装置条件設定手段とを具備したことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-145045
  
• 特開平4-105079
  
• 特開昭52-032258
  
• 特開平3-165437