特許

J-GLOBAL ID：200903017659083529

静電チャック

発明者： 沖田 拓士 ,  小杉 展正 ,  野瀬 哲郎
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-032871
公開番号（公開出願番号）：特開2001-219332
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】【課題】 漏れ電流が小さく、吸着力が大きな静電チャックを提供する。【解決手段】 吸着面に凸状のピンが形成された静電チャックにおいて、凸部の直下に電極層が配置され、凹部直下には前記電極層をつなぐ配線が配置されてなることを特徴とする静電チャックである。

請求項（抜粋）：

吸着面に凸状のピンが形成された静電チャックにおいて、凸部の直下に電極層が配置され、凹部直下には前記電極層をつなぐ配線が配置されてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

B23Q 3/15 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

B23Q 3/15 D ,  H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

Fターム (13件)：

3C016AA01 ,  3C016BA02 ,  3C016CE05 ,  3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA18 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031PA30