研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-199757
公開番号（公開出願番号）：特開平6-039705
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【構成】板状体からなる被研磨板1の一方の面を研磨する。被研磨板1を保持した固定基板2を装着する保持具3の外周部に、被研磨板1よりも硬い材料からなる下厚さ規制リング8が設けられている。【効果】被研磨板1を所望の厚さに制御し、被研磨板1の研磨過多を防止することができる。また、被研磨板1の厚さに偏りがあっても、均等な肉厚に修正され、板厚むらの少ない研磨を実現することが可能となる。この結果、加工条件に影響されずに被研磨板1の研磨の仕上精度を保証し、安定した板厚を確保することができる。

請求項（抜粋）：

板状体からなる被研磨板の一方の面を研磨する研磨装置において、被研磨板を保持した固定基板を装着する保持具の外周部に、被研磨板よりも硬い材料からなる厚さ規制部材が設けられていることを特徴とする研磨装置。

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