特許
J-GLOBAL ID：200903017675067347
微細加工機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045444
公開番号（公開出願番号）：特開平5-245644
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】【目的】 加工部材と被加工材料との間の距離によらずに安定した放電を行わせて、微細加工を実現する。【構成】 カソードとなる金属微細管21とアノードとなる被加工材料との間に被誘電率の大きい絶縁体22を構成する。これにより、絶縁体,金属(カソード),真空が接する三重接点60が形成され、電子が放出されやすくなり、絶縁体22表面に沿って沿面放電が発生される。この沿面放電中に金属微細管21の吐出口42からの反応ガス50を通すことによってラジカル化し、このプラズマガスの流れ61を被加工材料10と反応させることによってエッチングを行う。
請求項（抜粋）：
金属体と、その先端を被加工材料に対向させるとともに前記金属体と接点を有する絶縁体とからなる加工部材と、この加工部材を構成する前記金属体を陰極として、前記被加工材料方向から前記絶縁体の表面にほぼ平行に沿う方向の電界を印加する電界印加手段と、前記絶縁体の表面近傍を介して前記被加工材料表面に反応ガスを供給する反応ガス供給手段とを備えることを特徴とする微細加工機。
IPC (2件)：
B23K 10/00 501
, H01L 21/302
