自動LSI搭載装置とその装置における搭載LSIの検出方法。

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275869
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114798
出願日： 1991年10月24日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】 PGAタイプのLSIを自動搭載する装置とその装置におけるLSIの検出方法に関し、PGAタイプのLSIの自動搭載を可能にすると共にその信頼性の確保を目的とする。【構成】吸着ハンド6はロボットユニット7によって左右方向に移動する。その移動途中で吸着ハンド6に吸着したLSIの位置ずれと姿態を第1の光学系ユニットが検出する。第1の光学系ユニット12には、LSIの側方より信号ピンおよびインデックスピンの先端部を照明する光源と撮像装置を備え、該照明光による反射を利用する。信号ピンとインデックスピンの検出に際し前記照明光は、ピンの先端部だけに照射するスリット状とし、マトリックス状に整列する複数の小ウィンドウを利用するおよび、ピンの先端画像の重心位置から直線回帰によってLSIの中心ずれを補正する。

請求項（抜粋）：

複数個のPGA(ピングリットアレイ)タイプのLSI(3)を種類別に格納するLSIストッカユニット(8) 、該ストッカユニット(8) より取り出した1個の所定のLSI(3) の上面を吸着する吸着ハンド(6) 、該吸着ハンド(6) を左右,前後,上下の3方向に移動せしめると共に該吸着ハンド(6) をその垂直軸廻りに回動せしめるロボットユニット(7) 、該ロボットユニット(7)によって該吸着ハンド(6) を左右方向に移動させる中間部で該吸着ハンド(6) の吸着LSI(3) の下面より突出する信号ピン(4) の配列とインデックスピン(4a)の位置とを検出する第1の光学系ユニット(12)、LSI搭載基板(42)を固定する基板ホルダユニット(11)、該搭載基板(42)に設けられたLSI搭載位置マークを検出する第2の光学系ユニット(13)を備え、該第1の光学系ユニット(12)には、該信号ピン(4) およびインデックスピン(4a)の先端部を側方より照明する光源と、該LSI(3) の信号ピン(4) およびインデックスピン(4a)の像を撮像する撮像装置(22)とを備え、該ロボットユニット(7) には、該第1の光学系ユニット(12)によって検出した該信号ピン(4) の配列情報と該インデックスピン(4a)の位置情報および、該第2の光学系ユニット(13)によって検出した該位置マークによって、該ロボットユニット(7) を動作せしめる制御部(64)とを備え、該基板ホルダユニット(7) には、該搭載基板(42)の2方の裏面周端部を支持する支持台(44,52) と、該搭載基板(42)の他の1方の表面周端部を上方より押し付けるクランプ(56)と、該搭載基板(42)の裏面が当接しかつ着脱自在な複数本のバックアップピン(45)とを備えたことを特徴とする自動LSI搭載装置。

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