特許
J-GLOBAL ID：200903017686438002
AC型プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-352132
公開番号（公開出願番号）：特開平9-185945
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 動作特性が安定するとともに、低電圧での駆動が可能でしかも寿命特性を改善したAC型プラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】 基板1上に形成した電極4,5を誘電体層6で被覆してガス放電空間から絶縁し、さらにこの誘電体層6上に表面層として酸化マグネシウム膜7を形成した構造の前面板を有するAC型プラズマディスプレイパネルにおいて、酸化マグネシウム層7の表面における凹凸の大きさを100Å以下にする。蒸着源と基板との間に放電場を形成させながら、該放電場の電子温度が5.0eV以上でかつ電子密度が3.0×1011cm-3以上からなる条件で成膜するイオンプレーティング法により上記の酸化マグネシウム膜が形成される。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した電極を誘電体層で被覆してガス放電空間から絶縁し、さらにこの誘電体層上に表面層として酸化マグネシウム膜を形成した構造の前面板を有するAC型プラズマディスプレイパネルにおいて、前記酸化マグネシウム膜の表面における凹凸の大きさを100Å以下にしたことを特徴とするAC型プラズマディスプレイパネル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 11/02 B
, H01J 9/02 F
