特許
J-GLOBAL ID：200903017686550872
電子顕微鏡の試料位置制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-360915
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013011
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】本発明は電子顕微鏡の試料に於いて、所望視野の選択を容易にすることを目的とする。【構成】電顕の試料ステージは座標の読み取りが可能なものとする。観察すべき試料をまず、光学的撮像装置によりTV像として取り込み表示する。該表示像の座標を、試料ステージの座標と対応させることにより、光学的表示像上の所望の視野を容易に電顕像として観察できる。
請求項（抜粋）：
座標位置を読み取る手段を有する試料ステージを備えた電子顕微鏡に於いて、電子顕微鏡とは別に設けられた光学的像取り込み装置により、該試料の全部、もしくは一部の像を記憶し、かつ表示し、該表示像の座標を、前記試料ステージの座標と対応させる手段を有し、該表示像上の所望点に試料ステージを移動してなる電子顕微鏡の試料位置制御装置。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, H01J 37/22
, H01J 37/28
