特許
J-GLOBAL ID：200903017690088830
プラズマ滅菌装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (8件)：
三好 秀和
, 三好 保男
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 栗原 彰
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-044865
公開番号（公開出願番号）：特開2004-248989
出願日： 2003年02月21日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】効率のよいプラズマの生成を可能にすると共に連続した滅菌処理が行なえるようにする。【解決手段】面状電極3、誘電体5、格子状電極7の順に配置し、前記格子状電極7によって挟まれた上下に長い沿面放電通路11を形成する。その沿面放電通路11の上方にプロセスガス導入用のガス導入口13を、下方にガス出口15をそれぞれ設けたガス出口15から活性化したガスと共にプラズマを噴出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
面状電極、誘電体、格子状電極の順に配置され、前記格子状電極によって挟まれた上下に長い沿面放電通路を形成し、その沿面放電通路の上方にプロセスガス導入用のガス導入口を、下方にガス出口をそれぞれ設けたことを特徴とするプラズマ滅菌装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
4C058AA01
, 4C058BB06
, 4C058BB07
, 4C058EE23
, 4C058JJ16
, 4C058JJ26
, 4C058KK06
, 4C058KK22
