特許

J-GLOBAL ID：200903017691057785

光式ガス濃度検出方法及びその装置

発明者： 酒井 克巳 ,  内田 昌彦
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116483
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304274
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 赤外吸収スペクトルを持つ成分のみならず赤外吸収スペクトルを持たない成分も検出可能な光式ガス濃度検出方法及びその装置を提供する。【解決手段】 特定波長のレーザ光を一部は測定対象のガス雰囲気中に通し、一部はガス雰囲気中に通さず参照用に、それぞれのレーザ光を受光し、これらガス雰囲気透過光と参照光との差から特定波長のレーザ光を吸収するガスの濃度を検出すると共に、上記ガス雰囲気透過光の一部を特定ガスの吸着によって光透過特性が変化する導波路センサ9に通して受光し、この導波路センサ透過光と上記ガス雰囲気透過光との比から特定ガスの濃度を検出する。

請求項（抜粋）：

特定波長のレーザ光を一部は測定対象のガス雰囲気中に通し、一部はガス雰囲気中に通さず参照用に、それぞれのレーザ光を受光し、これらガス雰囲気透過光と参照光との差から特定波長のレーザ光を吸収するガスの濃度を検出すると共に、上記ガス雰囲気透過光の一部を特定ガスの吸着によって光透過特性が変化する導波路センサに通して受光し、この導波路センサ透過光と上記ガス雰囲気透過光との比から特定ガスの濃度を検出することを特徴とする光式ガス濃度検出方法。