特許

J-GLOBAL ID：200903017702720597

固体レ-ザ装置

発明者： 今井 信一
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-073697
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283466
出願日： 1994年04月13日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 この発明は1つの循環路によって脱イオン化する冷却水と、レ-ザロッドを所定の温度に維持するための冷却水とを循環させることができるようにした固体レ-ザ装置を提供することにある。【構成】 レ-ザヘッド1に設けられた固体レ-ザ媒質5およびこの固体レ-ザ媒質を光励起する励起ランプ6を冷却する固体レ-ザ装置において、上記レ-ザヘッドに冷却水を循環させて上記固体レ-ザ媒質と励起ランプとを冷却する循環路14と、この循環路に設けられ上記冷却水を脱イオン化するイオン交換樹脂ユニット24と、このイオン交換樹脂ユニットに流入する冷却水を所定温度以下に冷却する第1の熱交換器22と、上記イオン交換ユニットの下流側に設けられ上記レ-ザヘッドに流入する冷却水を所定温度以上に加熱する加熱ヒ-タ26とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レ-ザヘッドに設けられた固体レ-ザ媒質およびこの固体レ-ザ媒質を光励起する励起ランプを冷却する固体レ-ザ装置において、上記レ-ザヘッドに冷却水を循環させて上記固体レ-ザ媒質と励起ランプとを冷却する循環路と、この循環路に設けられ上記冷却水を脱イオン化するイオン交換樹脂ユニットと、このイオン交換樹脂ユニットに流入する冷却水を所定温度以下に冷却する第1の熱交換器と、上記イオン交換樹脂ユニットの下流側に設けられ上記レ-ザヘッドに流入する冷却水を所定温度以上に加熱する加熱手段とを具備したことを特徴とする固体レ-ザ装置。