気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：中尾充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-273353
公開番号（公開出願番号）：特開平6-198123
出願日： 1993年11月01日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】気体中の気体汚染物質、ミストに溶解する汚染物質、固体微粒子を除去し、高清浄度の閉空間を形成する。【構成】気体を、陽イオンおよび陰イオン交換繊維、ならびにアルカリを添着した活性炭繊維を組合わせたフィルタを通過せしめ、さらにHEPAフィルタを通過させる。酸性ガスや有機気体などの気体汚染物質は主に活性炭層で、ミスト中に含まれる酸性物質、アルカリ性物質、あるいは活性炭層で生成した中性塩などは主にイオン交換繊維層において、固体微粒子はHEPAフィルタにより除去される。化学汚染防止に効果があり、たとえばクラス100よりもクリーン度が高いクリーンルームの浄化循環路や補充気体の導入路に利用すると効果的である。

請求項（抜粋）：