特許
J-GLOBAL ID：200903017713631413
走査型プローブ顕微鏡およびその制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-299412
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147883
出願日： 1992年11月10日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 走査型プローブ顕微鏡において、圧電素子のクリープ現象等を抑えることにより、精度の高い物理量の像等を高速で観察できるようにする。【構成】 三角波発生回路4b,4cで発生させたX掃引主信号と高い周波数のX掃引副信号を加算回路4dで加算し、サンプルホールド回路4eを用いて探針2aの走査制御における掃引信号を作成し、任意の走査位置毎に、物理量の検出前に変化の方向を反転させ、その後所定の値にする。これにより、フィードバック制御回路3aにより、試料・探針間の距離をトンネル電流が一定になるようにXYZ圧電素子2bにより制御して試料1表面の物理量の測定する時、試料・探針間の相対位置を変化させるXYZ軸圧電素子2bのクリープ現象等に影響されることなく、精度良く一定にしかも素早く試料1・探針2a間の相対的位置が固定されるようにし、その測定の精度を上げると共に測定時間を短縮させる。
請求項（抜粋）：
試料と、探針と、前記試料・探針間の相対的位置を変化させる駆動部と、前記駆動部により前記試料・探針間の相対的位置を前記試料の表面の面内方向に制御するところの複数の掃引信号を発生する走査制御部と、前記駆動部により前記試料・探針間の相対的位置を前記試料表面に垂直な方向に制御するところの信号を発生するフィードバック制御部と、前記試料・探針間に現れる物理量を検出する検出部から構成されている走査型プローブ顕微鏡において、前記物理量の検出点で前記試料・探針間の相対的位置を所望の値に固定する機能であって、前記走査制御部が、少なくとも1つの前記掃引信号を出力するに際し、該掃引信号を一方向から変化させて一度所定の値を通過させたのち前記変化の方向を反転させ、または前記所定の値を通過させたのち前記変化の方向の反転を繰り返し、そののち前記掃引信号の値を前記所定の値に到達させる機能を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, H01J 37/28
, H01L 41/09
