特許
J-GLOBAL ID：200903017718861255
エネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-171389
公開番号（公開出願番号）：特開2001-351555
出願日： 2000年06月08日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【課題】 エネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡において、フィルタの中心面対称性を維持しつつ、鏡筒の高さの増大を抑制する。【解決手段】 入射絞りを介してエネルギーフィルタに入射した入射ビームは、4個の湾曲形状の電磁石11,12,13,14によって、回転しながら出射スリットの出射位置に戻ってくる。各電磁石11〜14は、磁極面のいずれな場所でも磁極面に対して磁界が垂直である均一磁界電磁石である。従って、エネルギーフィルタ1は、4個の均一磁場領域を有する。クロスオーバーAの位置を電子顕微鏡のテーブル面とし、エネルギーフィルタを電子顕微鏡のテーブルの下に納めることができる。
請求項（抜粋）：
対物レンズと像記録系との間にエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡であって、ほぼ平行に並ぶ2本の鏡筒を有し、エネルギーフィルタが前記各鏡筒をつなぐ部分に配置されていることを特徴とするエネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡。
Fターム (2件)：
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