平面度測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044254
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230739
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】多大な工数を要することなく、容易に平面度の測定が可能で、かつ長尺部品においても高い測定精度が得られる平面度測定装置を提供する。【解決手段】走査線上に沿って移動せしめる車輪と、該走査線上の2点に接触する2本の支持脚に支持された本体と、該本体に取付けられ、前記走査方向の各部位における前記支持脚間の直線線分の傾き角を検出するジャイロと、該ジャイロから入力される前記走査方向各部位における前記傾き角の検出データに基づき、前記被測定面の平面度を算出するコンピュータとを備えた平面度測定装置で、走査線上各部位における傾き角の検出データから平面度を測定する。

請求項（抜粋）：

被測定面上を走査して該被測定面の平面度を測定する平面度測定装置において、前記走査線上に沿って移動せしめる車輪と、該走査線上の2点に接触する2本の支持脚に支持された本体と、該本体に取付けられ、前記走査方向の各部位における前記支持脚間の直線線分の傾き角を検出するジャイロと、該ジャイロから前記傾き角の検出データが入力され、前記走査方向各部位における前記傾き角の検出データに基づき、前記被測定面の平面度を算出するコンピュータとを備えたことを特徴とする平面度測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/30 101 , G01B 21/22 , G01C 19/00

FI (3件)：

G01B 21/30 101 F , G01B 21/22 , G01C 19/00 Z

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