特許

J-GLOBAL ID：200903017740980446

電位センサ

発明者： 朝山 厚
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-037637
公開番号（公開出願番号）：特開平11-237423
出願日： 1998年02月19日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】 センサ電極と振動子間に発生する浮遊容量の影響を抑えて例え電位センサを小型化しても、精度の良い測定対象の電位を高精度で測定する電位センサを提供する。【解決手段】 機械的に振動するフォークが閉じると、基部11a、12aが互いに接近する方向に移動し、センサ電極120とターゲット間の有効対向面11b、12bが広がる。また、フォークが開くと、基部11a、12aが互いに離反する方向に移動し、センサ電極120とターゲット間の有効対向面11b、12bが狭まる。従って、センサ電極120とターゲット間の静電容量C(t)と、センサ電極120とフォーク間の浮遊容量Cx(t)は、同位相にて変化し、C(t)を流れる電流を検出抵抗Rsに流すことができ、精度の高い、ターゲット電位Vtを検出できる。

請求項（抜粋）：

機械的に振動する振動子と、被測定面に対して前記振動子の被測定面対向部より所定距離離間して配設されたセンサ電極と、前記センサ電極に流れる電流を検出する電流検出素子とを備え、前記振動子の少なくとも前記被測定面対向部は、前記センサ電極と当該振動子間の浮遊容量Cx(t)と前記センサ電極と被測定面との容量C(t)との位相が同位相にて変動する形状を有し、前記振動子の前記被測定面対向部を振動させることにより前記センサ電極と被測定面との有効対向面積を可変させて前記センサ電極と前記被測定面とのコンデンサ容量を可変として前記センサ電極に流れる交流電流を測定することにより、被測定面の電位を非接触にて測定可能とすることを特徴とする電位センサ。