特許

J-GLOBAL ID：200903017742753358

透磁コアを有する誘導結合型-平面状プラズマの発生装置

発明者： 藤井 修逸
出願人/特許権者： 株式会社アドテック
代理人 (1件)： 武石 靖彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-295826
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125496
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 電波障害なく磁界変換効率の優れた誘導結合型-平面状プラズマの発生装置を提供しようとする。【解決手段】 プラズマ生成室3の上蓋4に近接し、一側面を前記プラズマ生成室の室内空間に対向して配置されたアンテナコイル8と、前記アンテナコイルに関する前記室内空間と反対の側において、前記アンテナコイルの導体を収納した溝7aを、前記室内空間に対向する下面に配列形成した強磁性体からなる透磁コア7とを備え、前記室内空間の下部に被処理物19を載置するサセプタ16を設けたものである。

請求項（抜粋）：

プラズマ生成室の上蓋に近接し、一側面を前記プラズマ生成室の室内空間に対向して配置されたアンテナコイルと、前記アンテナコイルに関する前記室内空間と反対の側において、前記アンテナコイルの導体を収納した溝を、前記室内空間に対向する下面に配列形成した強磁性体からなる透磁コアとを備え、前記室内空間の下部に被処理物を載置するサセプタを設けたことを特徴とする透磁コアを有する誘導結合型-平面状プラズマの発生装置。

IPC (6件)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00

FI (6件)：

H05H 1/46 A ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 B