特許
J-GLOBAL ID：200903017750199467
ポリビニルアルコール系感光性樹脂組成物およびそれを用いたパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274454
公開番号（公開出願番号）：特開平9-114092
出願日： 1995年10月23日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 耐水性および耐熱性が良好で、水溶性も十分であり、アニオン性の添加剤との混和性もよい感光性樹脂組成物およびパターン形成方法を提供する。【解決手段】 特定の感光性の四級化された芳香族含窒素複素環を有するスチリル化合物(I)と、特定のスルホン酸基を有するフェニル化合物(II)とを、(I)の含有量が0.5〜10モル%であり、(II)の含有量が0.6〜20モル%であり、且つ(I)/(II)のモル比が1未満となるようにペンダントする。
請求項（抜粋）：
下記一般式(I)および(II)で表される構成単位を有するポリビニルアルコール系高分子化合物であって、【化1】(R1は四級化された芳香族含有窒素複素環残基、R2は水素原子または低級アルコキシル基、mは0または1、nは1〜6の整数を表す)【化2】(Xは水素、Na、K、アンモニウム、有機アミンまたは有機第四級アンモニウムを表す)前記一般式(I)の含有量が0.5〜10モル%であり、前記一般式(II)の含有量が0.6〜20モル%であり、且つ一般式(I)/一般式(II)で示されるモル比が1未満であるポリビニルアルコール系高分子化合物を含有することを特徴とするポリビニルアルコール系感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/021 511
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 504
, G03F 7/004 505
, G03F 7/008
, G03F 7/30
, H01J 9/227
G03F 7/021 511
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 504
, G03F 7/004 505
, G03F 7/008
, G03F 7/30
, H01J 9/227 C
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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