特許
J-GLOBAL ID：200903017756573522
自動アライメント調整装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-029658
公開番号（公開出願番号）：特開平5-228672
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】レーザ光の光軸位置を補正して高精度な光軸制御を実現する自動アライメント調整装置を提供することを目的としている。【構成】光源から被照射対象物に照射した光の光軸ずれを検出して光軸補正を行うものにおいて、光源からの光を複数の反射部材で反射させて偏向させる偏向手段10と、偏向手段10で偏向した光の輪郭中心、光軸角度、光軸位置を検出する光軸情報検出手段20と、光軸情報検出手段20で検出した光軸位置から光軸平行ずれを補正するための光軸位置制御信号を生成する光軸位置補正手段62と、光軸角度から角度補正を行なうための光軸角度制御信号を生成る光軸角度補正手段65と、輪郭中心から平行ずれ補正を行なうための光軸ずれ制御信号を生成すると共に光軸位置情報を更新する輪郭中心補正手段56と、上記各種制御信号に基づいて偏向手段10を駆動制御する駆動制御手段40とを具備してなるものとした。
請求項（抜粋）：
光源から被照射対象物に照射した光の光軸ずれを検出し、この検出した光軸ずれに基づいて光軸補正を自動的に行なう自動アライメント調整装置において、前記光源からの光を複数の反射部材で反射させて任意の方向へ偏向させる偏向手段と、この偏向手段で反射された光の輪郭中心、光軸角度、光軸位置を検出する光軸情報検出手段と、この光軸情報検出手段で検出された前記光軸位置と予め設定されている光軸位置との偏差に基づいて光軸の平行ずれを補正するための光軸位置制御信号を出力する光軸位置補正手段と、前記光軸情報検出手段で検出された光軸角度と予め設定されている光軸角度との偏差に基づいて光軸の角度補正を行なうための光軸角度制御信号を出力する光軸角度補正手段と、前記光軸情報検出手段で検出された光の輪郭中心と予め設定されている輪郭中心との偏差に基づいて光軸の平行ずれ補正を行なうための光軸ずれ制御信号を出力すると共に、この補正結果から前記光軸位置補正手段の光軸位置の設定値を更新する輪郭中心補正手段と、前記光軸位置補正手段、光軸角度補正手段および輪郭中心補正手段から各々出力される制御信号に基づいて前記偏向手段の反射部材の角度を駆動制御する駆動制御手段とを具備したことを特徴とする自動アライメント調整装置。
引用特許：
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