特許

J-GLOBAL ID：200903017759983896

加工用レーザ装置の光学部品モニタ装置

発明者： 大迫 康
出願人/特許権者： 株式会社ウシオ総合技術研究所
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355360
公開番号（公開出願番号）：特開2001-177165
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 加工用レーザ装置の光学部品の状態をモニタすることができ、サンプル照射処理することなく加工用レーザ装置の加工品質を確保することができる光学部品のモニタ装置を提供すること。【解決手段】 モニタ装置10により受光されたレーザ光がイメージリレー用光学系のレンズL1、L2を介して、複数のCCDセンサからなる受像素子1に転写される。受像素子1により受像された画像は演算処理部2に出力され、演算処理部2は、受像素子1が受光した光エネルギーの強度分布を作成し、表示装置3に表示する。上記モニタ装置10により加工用レーザ装置の各光学部品を通過または反射する位置のレーザ光の強度分布を測定することにより、光学部品に不具合が生じることによるレーザ光の強度分布の変化を容易に検出することができる。このため、加工用レーザ装置の加工品質を確保することができる。

請求項（抜粋）：

レーザ光を射出するレーザ光源と、該レーザ光の光路中に配置される光学部品とから構成される加工用レーザ装置の光学部品をモニタするための光学部品モニタ装置であって、複数のレンズを備えたイメージリレー用光学系と、画像センサとを備え、上記光学部品を通過した光をイメージリレー用光学系により画像センサに転写させることにより、上記加工用レーザ装置の光学部品をモニタすることを特徴とする加工用レーザ装置の光学部品モニタ装置。

IPC (4件)：

H01S 3/00 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K101:42

FI (5件)：

H01S 3/00 G ,  H01S 3/00 F ,  B23K 26/00 Q ,  B23K 26/00 330 ,  B23K101:42

Fターム (12件)：

4E068AF00 ,  4E068CA18 ,  4E068CB02 ,  4E068CC02 ,  4E068DA11 ,  5F072AB01 ,  5F072JJ05 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK12 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072YY06