特許
J-GLOBAL ID：200903017760926766
分解能評価用試料台
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-062714
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260373
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】既知の蒸着膜断面や結晶性試料を用いて分解能評価用を行う場合に、試料台をX軸およびY軸の方向に取り付け可能な試料台を提供し分解能評価を容易に可能とする。【解決手段】電子線の走査方向X軸,Y軸に対応し、分解能評価用試料台をX軸およびY軸に装着可能な分解能評価用試料台構造を設け、容易にX軸,Y軸に既知の蒸着膜断面や結晶性試料をマウント可能な試料台によって、分解能評価の容易化を図る。
請求項（抜粋）：
分解能評価用試料台として、X軸,Y軸のそれぞれの方向に試料をマウント可能な機構を設ける事を特徴とする分解能評価用試料台。
Fターム (3件)：
5C001AA01
, 5C001AA08
, 5C001CC04
