特許
J-GLOBAL ID：200903017768252403
蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-175013
公開番号（公開出願番号）：特開平7-034229
出願日： 1993年07月15日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】【目的】 大型の被蒸着体の真空容器内での保持や搬入出を容易に行える。【構成】 真空容器1内で、保持部材4に支持されてヒーター3により加熱される基板2の上方に、電流が通電されて蒸発材料Mを加熱蒸発させる下方放出型ボート5を配置し、前記下方放出型ボート5に、通電加熱されて蒸着材料Mを溶融する加熱トレイ7と、この加熱トレイ7の底板7bに多数形成されて溶融された蒸発材料を加熱トレイ7の下面に滲み出させて蒸発させる多数の蒸発孔12と、加熱トレイの上面を覆うトレイカバー10を具備した。【効果】 被蒸着体の上面に薄膜を形成することができる。
請求項（抜粋）：
真空容器内で、保持部材により保持される被蒸着材の上方に、通電されて蒸発材料を加熱蒸発させる下方放出型ボートを配置し、前記下方放出型ボートに、蒸発材料が加熱溶融される加熱トレイと、この加熱トレイの底部に形成されて溶融させた蒸発材料を下面に滲み出させて蒸発させる多数の蒸発孔と、加熱トレイの上面を覆うトレイカバーとを具備したことを特徴とする蒸着装置。
引用特許：
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