特許
J-GLOBAL ID：200903017774684498
固体撮像装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203306
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053456
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】現像むら、現像後の乾燥むらおよび染色むらをなくすことのできる固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【構成】水系樹脂を塗布することにより形成される水系樹脂層21をカラーフィルター層6の下部に設けることにより、カラーフィルター層6を露光および温水現像によって形成する際、水系樹脂層21およびカラーフィルター層6はともに親水性であるため、表面から水が浸透していく速度および乾燥していく速度が全面において等しく、現像むらおよび現像後の乾燥むらが生じないとともに、染色およびその後の水洗時にも同様の理由により染色むらが生じない。これにより、固体撮像装置の画像レベルを向上させることができる。
請求項（抜粋）：
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された受光部と、前記受光部上に形成されたカラーフィルター層とを有する固体撮像装置であって、前記カラーフィルター層の下部に水系樹脂層が形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/14
, H04N 1/028
, H04N 5/335
, H04N 9/07
