流量制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-339737
公開番号（公開出願番号）：特開平7-160338
出願日： 1993年12月06日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】流量制御方式を途中で切り替えることにより迅速且つオーバシュートのない流量制御を行うことができる流量制御方法を提供する。【構成】流体通路4に介設された流量制御弁10を流量制御部22から制御することにより流体の流量を制御する流量制御方法において、予め複数の流量設定値に応じた上記流量制御弁の定常操作量を測定してテーブル化して記憶しておき、流量設定値が急激に変化すると、上記テーブルに基づいて新たな流量設定値に対応した定常操作量を求め、これよりも小さい初期操作量を出力し、流量設定値よりも少ないある程度までの量の流体を急激に流し、その後、直ちに速度型PID制御に移行し、上記初期操作量を基準として緩慢な弁操作を行う。これにより、オーバシュートを生ずることなく迅速に流量設定値まで流量を到達させることが可能となる。

請求項（抜粋）：

流体を流す流体通路に介設された流量制御弁を流量制御部から制御することにより前記流体の流量を制御する流量制御方法において、予め複数の流量設定値に応じた前記流量制御弁の定常操作量を測定してテーブル化して記憶しておき、所定の流量設定値まで急激に流量を変化する際に、前記流量制御部は前記所定の流量設定値に対応した前記定常操作量をテーブルに基づいて求め、求められた定常操作量よりも所定の割合だけ小さい初期操作量を前記流量制御弁に出力し、その後、直ちに前記初期操作量を基準として速度型PID制御に移行するようにしたことを特徴とする流量制御方法。

IPC (2件)：

G05D 7/06 , F16K 31/02

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭61-088308
特開昭62-154002
特開平1-158501

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