特許
J-GLOBAL ID:200903017790945579

レーザ投影法による計測器から被計測物までの非接触による前後移動距離計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 直義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-122927
公開番号(公開出願番号):特開平11-304423
出願日: 1998年04月16日
公開日(公表日): 1999年11月05日
要約:
【要約】【課題】 はじめに計測器から被計測物までの正確な位置関係を把握したものを、その後の被計測物が計測器に対して前後方向へ移動する距離を計測するのもである。【解決手段】 被計測物、計測器間の設定離間距離が変化する被計測物が、計測器に対して離接する移動量の計測方法であって、移動前の被計測物と、計測器との離間距離を基準値として、被計測物に照射する平行レーザ光の反射光の一部を、計測器のCCD素子が捕らえ、捕らえた反射光の不定形粒状集合紋様(スペックルパターン)中、任意選択した複数の粒状紋様の各々重心点を結ぶ距離を採択し、該採択距離と、前記離間距離を1対1の関係に設定し、計測器におけるCCDカメラの光軸方向の前あるいは後方向に移動する被計測物と、移動する該計測物のレーザ反射光における前記不定形粒状集合紋様の各々の大形あるいは小形に相似移形による前記採択距離の変化倍率により、被計測物の基準値からの移動量を演算により計測値を表示することができるようにした。
請求項(抜粋):
被計測物、計測器間の設定離間距離が変化する被計測物が、計測器に対して離接する移動量の計測方法であって、移動前の被計測物と、計測器との離間距離を基準値として、被計測物に照射する平行レーザ光の反射光の一部を、計測器のCCD素子が捕らえ、捕らえた反射光の不定形粒状集合紋様(スペックルパターン)中、任意選択した複数の粒状紋様の各々重心点を結ぶ距離を採択し、該採択距離と、前記離間距離を1対1の関係に設定し、計測器におけるCCDカメラの光軸方向の前あるいは後方向に移動する被計測物と、移動する該計測物のレーザ反射光における前記不定形粒状集合紋様の各々の大形あるいは小形に相似移形による前記採択距離の変化倍率により、被計測物の基準値からの移動量を演算により計測値を表示することができるようにしたレーザ投影法による計測器から被計測物までの非接触による前後移動距離計測方法。
FI (3件):
G01B 11/00 F ,  G01B 11/00 B ,  G01B 11/00 H
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭61-080003
  • 特開昭61-059278
  • 特開昭60-174905

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