特許
J-GLOBAL ID:200903017795610001

フルイディック素子の製造方法、フルイディック素子、フルイディック流量計、複合型流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柏木 慎史 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-073505
公開番号(公開出願番号):特開2002-277298
出願日: 2001年03月15日
公開日(公表日): 2002年09月25日
要約:
【要約】【課題】 小流量域でのフルイディック振動を安定させ、フルイディック振動出力による流量測定領域を小流量域側に広げること、を維持しながらフルディック素子を金型成型できるようにする。【解決手段】 ノズル3から噴出する流体の振り分けを均等に安定させるために誘振子7の根元部が滑らかになるようにフルイディック素子1Aを成型する。これにより、ノズル3から噴出された流体が誘振子7での剥離位置の変動が少なく、噴流の方向が安定し、これにより、小流量域でのフルイディック振動もを安定させ、フルイディック振動出力による流量測定領域を小流量域側に広げることができる。
請求項(抜粋):
ノズル及びこのノズルの断面積より広い流路拡大部を接続してなる流路と、前記ノズルの出口に対向する位置で前記流路拡大部に配置された誘振子と、この誘振子の下流側となる位置で前記流路拡大部に配置されたエンドブロックとを有するフルイディック素子を金型により一体に成型する場合に、前記ノズルから噴出する流体の振り分けを均等でかつ安定にするために前記誘振子の根元部が滑らかになるように前記フルイディック素子を成型することを特徴とするフルイディック素子の製造方法。
IPC (2件):
G01F 1/20 ,  G01F 7/00
FI (2件):
G01F 1/20 E ,  G01F 7/00
Fターム (8件):
2F030CA04 ,  2F030CA10 ,  2F030CC11 ,  2F030CF01 ,  2F030CF05 ,  2F030CF11 ,  2F030CH01 ,  2F030CH05

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