特許
J-GLOBAL ID:200903017797651562

磁性膜めつき装置及び該装置の使用方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井内 龍二 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-063050
公開番号(公開出願番号):特開平5-017898
出願日: 1991年03月27日
公開日(公表日): 1993年01月26日
要約:
【要約】めっき槽11の外部にめっき槽11を挟んで永久磁石12が配設され、パルス電源19とステップモータ16とを制御するマルチファンクションジェネレータ18及びパルスジェネレータ17を備える。そしてマルチファンクションジェネレータ18及びパルスジェネレータ17によって回転電極11の回転及び回転電極11とアノード14とへの通電を制御し、回転電極11を停止させている間に回転電極11及びアノード15間に通電してめっきを行なう。このことによって、形成された磁性膜に最適な誘導磁気異方性を付与することができ、高周波域での透磁率を向上させることができる。
請求項(抜粋):
めっき浴中の回転電極をカソードとし、前記回転電極に試料を配置してアノードとの間に通電することにより前記試料に磁性膜の電気めっきを施す磁性膜めっき装置において、めっき槽の外部に該めっき槽を挟んでN極とS極とが対向するように永久磁石又は電磁石が配設され、前記N極と前記S極との間で形成される磁力線の方向及び該方向に略直交する方向で前記回転電極の回転を停止させる制御機構を備えていることを特徴とする磁性膜めっき装置。
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平1-115696
  • 特開平3-216400

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