特許
J-GLOBAL ID:200903017807837805

ラマン応力測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-004707
公開番号(公開出願番号):特開平8-193893
出願日: 1995年01月17日
公開日(公表日): 1996年07月30日
要約:
【要約】【目的】ラマンスペクトルピーク位置の測定精度の高精度化。【構成】レーザ光源1と対物レンズ5,分光器9,検出器10をレーザ光源1の光路上に順次備えたラマン応力測定装置で、応力が測定される第一の試料と、第一の試料と同じ材料に応力を加えた第二の試料から構成される。
請求項(抜粋):
レーザ光源と対物レンズ,分光器,検出器を前記レーザ光源の光路上に順次備えたラマン応力測定装置において、前記レーザ光源の光路上に、応力を測定する第一の試料と同じ材料に、応力を加えた第二の試料を有することを特徴とするラマン応力測定装置。
IPC (3件):
G01L 1/00 ,  G01L 1/24 ,  G01N 3/00

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