特許
J-GLOBAL ID：200903017812561702
表面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219641
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050733
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】一つの測定装置で、面内形状と面外形状を同時に高精度で測定する測定装置を提供すること。【構成】音響光学素子から強度分布が任意に設定でき、周波数の異なる2ビーム光を発生させる。光ヘテロダイン干渉計の構成で反射光信号の交流成分と直流成分を分離検出する。交流信号の位相から面外形状を測定し、直流信号の強度から面内形状を測定する。【効果】面外、面内形状を簡素な構成の光学装置で同時に検出できる。プローブ光として特有の強度分布のビームが用いられるため、フレキシビリテイーに富んだ高精度な測定ができる。
請求項（抜粋）：
レーザ光源から放射されたレーザ光を音響光学素子に入射させ、周波数が異なり合成強度分布が可変できる2ビーム光を発生させて走査し、該2ビーム光の一部の強度をビームスプリッターで反射させ、第一の受光器で検出して交流成分の参照光ビート信号を作成し、前記ビームスプリッターを透過した2ビーム光を対物レンズで微小スポットに集光して面外形状及び面内形状が測定される被測定物に照射して走査し、該被測定物からの反射光を前記ビームスプリッターで反射させて第二の受光器で検出し、直流成分の反射光強度信号と交流成分の反射光ビート信号を作成し、該反射光ビート信号と前記参照光ビート信号の間の位相変化を位相比較器で検出し、面外形状演算部で前記被測定物の高さ方向の面外形状を測定すると共に、前記反射光強度信号の強度変化から前記被測定物の面内形状を演算する面内形状演算部を設け、面外形状と面内形状を測定することを特徴とする表面形状測定装置。
引用特許：
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