特許

J-GLOBAL ID：200903017813056386

プラズマ加工装置

発明者： 竹居 滋郎
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221052
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049469
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】 フィルム状の加工材料を効率的にドライエッチングできるプラズマ加工装置を提供する。【解決手段】 ロール状に巻かれたフィルム状の加工材料Sを巻き出してドライエッチングするのに使用されるプラズマ加工装置であって、少なくとも、巻き出し部、テンションコントロール部、蛇行防止部、プラズマ加工部、反転部、巻き取り部の各ユニットに分かれており、それらのユニットを選択的に組み合わせて連続的に並べた状態で設置可能とする。目的に合わせて加工材料Sの片面もしくは両面を効率よく処理することが可能となる。しかも、各ユニットを製造するだけで異なる目的の装置が可能となり、また使用者も安価に購入することができる。

請求項（抜粋）：

ロール状に巻かれたフィルム状の加工材料を巻き出してドライエッチングするのに使用されるプラズマ加工装置であって、少なくとも、巻き出し部、テンションコントロール部、蛇行防止部、プラズマ加工部、反転部、巻き取り部の各ユニットに分かれており、それらのユニットを選択的に組み合わせて連続的に並べた状態で設置可能としたこと特徴とするプラズマ加工装置。

IPC (3件)：

C23F 4/00 ,  G11B 5/127 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

C23F 4/00 A ,  G11B 5/127 Z ,  H05H 1/46 A

Fターム (19件)：

4K057DA19 ,  4K057DB11 ,  4K057DD01 ,  4K057DE06 ,  4K057DE08 ,  4K057DE20 ,  4K057DG07 ,  4K057DK03 ,  4K057DM02 ,  4K057DM03 ,  4K057DM04 ,  4K057DM28 ,  4K057DM36 ,  4K057DM40 ,  4K057DN01 ,  4K057DN10 ,  5D093AA05 ,  5D093GA10 ,  5D093HA16