特許
J-GLOBAL ID：200903017816396897
質量分離機構を備えたイオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059459
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082083
出願日： 1992年02月12日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 広い断面積を持つ面イオンビ-ム型のイオン源に於いて質量分離機構を設けて所望の質量のイオンビ-ムだけを取り出すこと。【構成】 イオン源出口のプラズマ電極、引出電極、加速電極、接地電極のうちイオンの速度が低い段階である引出電極に、電界磁界の作用で質量分離するウイ-ンフィルタを通し穴ごとに設ける。さらに引出電極のすぐ後方に通し穴の位置の合致したあまり電圧のかかっていない質量分離電極を設ける。
請求項（抜粋）：
真空に引くことができ原料ガスを導入し放電によってこれを励起しプラズマとするイオン源チャンバと、イオン源チャンバからイオンビ-ムを引き出し加速するためにイオン源チャンバの出口に設けられイオン通し穴が面と直角な方向に一致するように穿たれた多孔板電極板であるプラズマ電極、引出電極、質量分離電極、加速電極、接地電極とを含み、引出電極の全てのイオン通し穴に、対向磁石と対向電極とよりなり静磁界と電界とが互いに直交しイオンビ-ムにも直交するようにしたウイ-ンフイルタを設け、質量分離電極は引出電極との間にイオンを加速する方向の小さな電圧が印加されているか又は同じ電圧であるものとし質量分離電極のイオン通し穴はこれより後段の加速電極のイオン通し穴と同じ大きさかあるいはこれよりも小径のものとし、引出電極のイオン通し穴を通過したイオンのうち所望の質量のイオンのみがその後段にある質量分離電極のイオン通し穴を通過できるようにした事を特徴とする質量分離機構を備えたイオン源。
IPC (2件)：
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