特許
J-GLOBAL ID：200903017816411420
センサー要素
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-068467
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308152
出願日： 1994年04月06日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 強度、耐久性、応答特性に優れた加速度計用のセンサー要素を提供する。【構成】 本発明によるセンサー要素8は、基板10上に、それと平行に位置したボロンをドープしたシリコンの本体12を有し、この本体を複数個の孔50が貫通し、これがセンサー要素の固有周波数と測定帯域を修正する減衰を生じさせる。また、容量型のセンサー要素は、少なくとも2つの固定的な導電板16,18を備えた絶縁基板10と、その上に、平行に位置したボロン・ドープ・シリコンの本体12とを有し、この本体が基板に取り付けられたペデスタル30と、第1、第2のコンデンサを形成するために、導電板と対応した第1、第2の上板38,40を有し、センサー要素に直角な加速度に応じて、コンデンサの容量間に差が生じる。
請求項（抜粋）：
固有周波数で測定帯域を有するセンサー要素において、ほぼ平坦な基板と、前記基板の上方にかつそれに平行に位置し、前記基板の上方にかつそれに平行に位置した撓み軸線の周りで回転可能な半導体本体であって、複数個の孔が延在しているものとを備え、前記孔がセンサー要素の固有周波数と測定帯域とをズラす減衰を生じさせるように構成されたセンサー要素。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01P 21/00
, H01L 29/84
