特許

J-GLOBAL ID：200903017826374387

赤外線感光性樹脂を用いた画像形成方法

発明者： 高崎 龍一郎
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-244089
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085728
出願日： 2002年08月23日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】気体又は液体状態の流体を圧力損失が小さく、流通可能なゼオライト粒状体を提供する。【解決手段】支持体上に形成された赤外線感光性樹脂層をディジタル・マイクロミラーを介在させて750〜1200nmのレーザー光をフォトマスク無しで画像様に露光し、現像液による処理で支持体上に画像形成を行うことを特徴とする画像形成方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

支持体上に形成された赤外線感光性樹脂層をディジタル・マイクロミラーを介在させて750〜1200nmのレーザー光をフォトマスク無しで画像様に露光し、現像液による処理で支持体上に画像形成を行うことを特徴とする画像形成方法。

IPC (3件)：

G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/004 505 ,  G03F7/20 505 ,  H01L21/30 529 ,  H01L21/30 502R

Fターム (18件)：

2H025AA02 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CC11 ,  2H025FA10 ,  2H097CA17 ,  2H097FA02 ,  2H097GB04 ,  2H097LA09 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CA07 ,  5F046CB02