特許
J-GLOBAL ID：200903017827587716
感光性ポリイミド前駆体組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-129575
公開番号（公開出願番号）：特開平6-337518
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【構成】ポリイミド前駆体、アミノアクリレート化合物(B)、アミノアクリルアミド化合物(C)、および光開始剤および/または増感剤を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物において、化合物(B)と化合物(C)のモル比が、20:80〜90:10の範囲であることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【効果】本発明における感光性ポリイミド前駆体組成物は容易に製造でき、かつ、ポジ型、ネガ型ともに優れた機能を有するので有用である。さらに現像後、キュアすることにより、性能が優れたポリイミド被膜を得ることができた。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ(A)、【化1】(ただし、式中R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)(b)一般式(2)で表されるアミノアクリレート化合物(B)、【化2】(c)一般式(3)で表されるアミノアクリルアミド化合物(C)、および【化3】(ただし、式中R4 、R8 は水素または炭素数1〜10の低級アルキル基、R5、R9 は置換または無置換の炭化水素基、R6 、R7 、R10、R11は置換または無置換の炭素数1〜10の低級アルキル基を表す。)(d)光開始剤および/または増感剤を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物において、化合物(B)と化合物(C)のモル比が、20:80〜90:10の範囲であることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/027 514
, C08F283/04 MQT
, C08K 5/17
, C08K 5/20
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/039 501
