特許
J-GLOBAL ID：200903017833291047
欠陥・異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-302190
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132747
出願日： 1997年11月04日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】特に半導体装置の製造における、欠陥・異物検査装置の構造および検査結果の報告の方法に関する。欠陥・異物の平面方向寸法及び面積を配線間ショートの原因と考えている為、高さ方向で配線間ショート原因となる欠陥・異物では配線間ショート原因欠陥・異物と判定されなかった。【解決手段】被検査対象物載置ステージに高さ可変ステージ固定具を具備する。また、光学系ユニットに高さ可変固定具を具備する。また、光学系ユニットを2つ具備する。【効果】欠陥・異物検査の3次元検査を行う事ができる。さらに、検査速度を約2倍に上げる事ができる。
請求項（抜粋）：
欠陥・異物検査装置の被検査対象物載置ステ-ジにおいて、高さ方向可変機構を設け、欠陥・異物検査の3次元検査を行う事を特徴とする欠陥・異物検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/28 Z
, G01B 11/30 C
