特許

J-GLOBAL ID：200903017837937782

加速度計及びその製造方法

発明者： 佐藤 一輝 ,  北條 武 ,  岡嶋 洋
出願人/特許権者： 株式会社トキメック
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-297295
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160068
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 温度、衝撃、長時間の使用等によって出力信号に誤差が生ずることがない加速度計を提供することを目的とする。【構成】 梁11及び支持部材13は1枚の板材より形成される。支持部材13は梁11の周囲を囲むように延在し、梁11は支持部材13の固定部13Aにて片持ち支持されている。梁11及び支持部材13の上側及び下側にそれぞれスペーサ19A、19Bを介して上蓋41A及び下蓋41Bが装着されている。密閉空間45内には乾燥した不活性ガスが封入されており、斯かるガスは梁11の振動を減衰させるためのスクィーズダンパとして機能する。

請求項（抜粋）：

外力によって弾性変形可能な梁と、該梁を片持ち支持する支持部材と、上記梁の変形を共振周波数の変化として検出するための検出部とを有し、上記梁の変形を検出することによって加速度を求めるように構成された加速度計において、上記梁と上記支持部材は一体物として1枚の板材より形成されたことを特徴とする加速度計。