特許

J-GLOBAL ID：200903017852993303

静電容量式圧力センサ及びこのセンサを用いたガス異常監視装置

発明者： 藤井 優子 ,  文字 秀人
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087868
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280986
出願日： 1996年04月10日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 圧力センサの気密性を確保し、信頼性を向上する。【解決手段】 接着層5を主接着層5aと副接着層5bで構成し、副接着層5bを主接着層5aの外周に設けている。これによって、接着層5の焼成時に発生するガスを放出させることができ、封着部の破れを防ぐとともに、焼成後には副接着層5bが隣接する主接着層5aと接合することで接着面積が増加し気密性が向上する。

請求項（抜粋）：

表面に第一の電極が形成された電気絶縁性弾性材料からなるダイアフラムと、第二の電極が表面に形成された電気絶縁性材料からなる固定基板と、前記第一の電極と前記第二の電極とが対向配置し前記ダイアフラムと前記固定基板とを一定間隔に保持し接着する接着層とを備えた静電容量式圧力センサにおいて、前記接着層を主接着層と副接着層とで構成し、副接着層を主接着層の周囲に設けた静電容量式圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/12 ,  G01F 1/00 ,  G05D 16/20

FI (3件)：

G01L 9/12 ,  G01F 1/00 T ,  G05D 16/20 J