感光性ポリイミド前駆体組成物およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-211367
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102667
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【構成】本発明は、分子末端の少なくとも一方がアルコールの酸エステルとなっているポリアミド酸、光反応性を有する炭素-炭素不飽和結合を含有する化合物、および光重合開始剤を主成分とする感光性ポリイミド前駆体組成物である。【効果】本発明の感光性ポリイミド前駆体組成物は、有害な副生成物を生じることなしに製造することができる。また、この組成物より形成した膜にパターンマスクをし、露光および現像液による現像を行うとき、未露光部が現像液によって溶解除去されるまでの露光部の現像液への溶解量が少なく、厚膜パターンを得ることができる。そして、これを加熱処理することによって、ポリイミドの厚膜パターンを得ることができる。

請求項（抜粋）：

(a)分子末端の少なくとも一方がアルコールの酸エステルとなっているポリアミド酸、(b)光反応性を有する炭素-炭素不飽和結合を含む化合物、および(c)光重合開始剤を含有してなることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/027 514 , C08G 73/10 NTH , C08L 79/08 LRB , G03F 7/075 511 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-077741
特開平4-070661
特開平4-130323

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