特許
J-GLOBAL ID:200903017857050474

塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-157889
公開番号(公開出願番号):特開平6-000433
出願日: 1992年06月17日
公開日(公表日): 1994年01月11日
要約:
【要約】【構成】 内部給液ポケットとそれに関連するスロット部を有し、該スロット中に少なくとも1つの副給液ポケットを持ち、支持体表面に一定量の塗布液を均一に塗布する塗布装置において、1つ以上の副給液ポケットによって分割された2つ以上のスロット部の間隙をスロット出口に近い程広くすることを特徴とする塗布装置により達成。【効果】 スロットより塗布液を流出させるタイプ、例えばスライドホッパーあるいはエクストルージョン塗布装置において、幅手方向流量(膜厚)の均一性を高めた塗布装置の提供。
請求項(抜粋):
内部給液ポケットとそれに関連するスロット部を有し、該スロット中に少なくとも1つの副給液ポケットを持ち、支持体表面に一定量の塗布液を均一に塗布する塗布装置において、1つ以上の副給液ポケットによって分割された2つ以上のスロット部の間隙をスロット出口に近い程広くすることを特徴とする塗布装置。
IPC (2件):
B05C 5/02 ,  G03C 1/74
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平2-214569
  • 特公昭51-039264
  • 特開昭52-049250

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