ATカット水晶の加工方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-254733
公開番号（公開出願番号）：特開平7-082100
出願日： 1993年09月16日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】エッチング面を水晶素板主表面に対してほぼ直角な平面とすると共に貫通部におけるエッチング面間の距離を接近せしめること可能なATカット水晶のエッチング加工方法を提供することを目的とする。【構成】ATカット水晶素板の+Y′軸側の第1および-Y′軸側の第2の主表面上に所定パターンの耐食膜を付着し、該耐食膜の開口部同士をエッチングにより貫通せしめる際、第1の主表面側耐食膜開口部の+Z′軸側端部Aと第2の主表面側の耐食膜開口部の-Z′軸側端部Bとを結ぶ線がほぼZ軸方向と平行であって、第1の主表面側耐食膜開口部の-Z′軸側端部Cが前記Bと相対向する位置B′より+Z′軸側に、第2の主表面側の耐食膜開口部の+Z′軸側端部Dが前記Aと相対向する位置A′より-Z′軸側に位置するよう前記耐食膜を配置した上でエッチングを施す。

請求項（抜粋）：

ATカット水晶素板の+Y′軸側の第1および-Y′軸側の第2の主表面上に所定パターンの耐食膜を付着して行なうエッチング加工方法において、両主表面に付着した耐食膜の開口部同士をエッチングにより貫通せしめる際、第1の主表面側耐食膜開口部の+Z′軸側端部Aと第2の主表面側の耐食膜開口部の-Z′軸側端部Bとを結ぶ線がほぼZ軸方向と平行であって、第1の主表面側耐食膜開口部の-Z′軸側端部Cが前記第2の主表面側端部Bと相対向する位置B′より+Z′軸側に、第2の主表面側の耐食膜開口部の+Z′軸側端部Dが前記第1の主表面側端部Aと相対向する位置A′より-Z′軸側に位置するよう前記耐食膜を配置した上でエッチングを施し、前記開口部同士が貫通した後も所定時間エッチングを継続することにより基板主表面に対してほぼ直角なエッチング面を形成することを特徴とするATカット水晶の加工方法。

IPC (2件)：

C30B 33/08 , H03H 3/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭57-157616
特開平1-179513
特開昭57-157616

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