特許

J-GLOBAL ID：200903017861138378

投影露光装置

発明者： 加藤 欣也 ,  関 昌美
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329962
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218863
出願日： 1994年12月05日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 複数の投影光学ユニットで投影光学系を構成しながら各投影光学ユニットの像の間の整合性の高い投影露光装置を提供すること。【構成】 本発明の投影露光装置は、投影光学系に対して第1の基板および第2の基板を相対的に移動させて第1の基板上に形成されたパターンを投影光学系を介して第2の基板上に投影露光する投影露光装置である。そして、投影光学系は、第1の基板に形成されたパターンの等倍正立像を第2の基板上に形成する複数の投影光学ユニットからなる。複数の投影光学ユニットの各々は、第1の基板からの光を偏向させる第1の偏向部材と、この第1の偏向部材からの光を反射させる反射鏡と、反射鏡からの光を第2の基板へ向けて偏向させる第2の偏向部材とを有する。ここで、本発明では、複数の投影光学ユニットを介して第2の基板上に形成される複数の像の相互間の向きの誤差を補正するための補正手段を備えている。

請求項（抜粋）：

投影光学系に対して第1の基板および第2の基板を相対的に移動させて前記第1の基板上に形成されたパターンを前記投影光学系を介して前記第2の基板上に投影露光する投影露光装置において、前記投影光学系は、前記第1の基板に形成されたパターンの等倍正立像を前記第2の基板上に形成する複数の投影光学ユニットからなり、前記複数の投影光学ユニットの各々は、前記第1の基板からの光を偏向させる第1の偏向部材と、該第1の偏向部材からの光を反射させる反射鏡と、該反射鏡からの光を前記第2の基板へ向けて偏向させる第2の偏向部材とを有しかつ少なくとも像側がテレセントリックな光学系であり、前記複数の投影光学ユニットを介して前記第2の基板上に形成される複数の像の相互間の向きの誤差を補正するための補正手段を備えていることを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

G02B 27/18 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭57-179873
  
• 特開昭58-108745