顕微鏡用オートフォーカス装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148078
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341234
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】簡易な初期調整と十分なオートフォーカス性能の確保を両立できる顕微鏡用オートフォーカス装置を提供すること。【解決手段】試料Sからの光像を検出する第一検出手段(13)と、前記光像の焦点距離を調整する第一焦点距離調整手段(26)と、試料Sに対して投光する投光手段(37)と、試料Sで反射された光像を検出する第二検出手段(17)と、前記光像の焦点距離を調整する第二焦点距離調整手段(26)と、試料Sの合焦状態を判定する第一合焦状態判定手段(26)と、その信号を基に試料Sの合焦位置を調整する第一合焦位置調整手段(26)と、試料Sの合焦状態を判定する第二合焦状態判定手段(26)と、その信号を基に試料Sの合焦位置を調整する第二合焦位置調整手段(26)と、を具備し、前記第二焦点距離調整手段は、前記第一及び第二合焦状態判定手段からの両信号に基づいて調整を行う。

請求項（抜粋）：

対物レンズを通して光を試料に照射し、前記試料からの光を観察する観察光学系を有する顕微鏡に搭載される顕微鏡用オートフォーカス装置において、前記試料からの光像を検出する第一の検出手段と、前記第一の検出手段に結像する前記光像の焦点距離を調整する第一の焦点距離調整手段と、前記観察光学系内の対物レンズを通して、前記試料に対して投光する投光手段と、前記投光手段の投光により前記試料で反射された光像を検出する第二の検出手段と、前記第二の検出手段に結像する前記光像の焦点距離を調整する第二の焦点距離調整手段と、前記第一の検出手段からの出力信号に基づいて前記試料の合焦状態を判定する第一の合焦状態判定手段と、前記第一の合焦状態判定手段からの信号に基づいて前記試料の合焦位置を調整する第一の合焦位置調整手段と、前記第二の検出手段からの出力信号に基づいて前記試料の合焦状態を判定する第二の合焦状態判定手段と、前記第二の合焦状態判定手段からの信号に基づいて前記試料の合焦位置を調整する第二の合焦位置調整手段と、を具備し、前記第二の焦点距離調整手段は、前記第一及び第二の合焦状態判定手段からの両信号に基づいて調整を行うことを特徴とする顕微鏡用オートフォーカス装置。

IPC (4件)：

G02B 7/28 , G02B 7/32 , G02B 7/36 , G02B 21/26

FI (5件)：

G02B 21/26 , G02B 7/11 N , G02B 7/11 D , G02B 7/11 B , G02B 7/11 J

Fターム (12件)：

2H051AA11 , 2H051BA49 , 2H051BA53 , 2H051BA55 , 2H051BA75 , 2H051CB02 , 2H051CB04 , 2H051CC03 , 2H051DA02 , 2H051GA13 , 2H052AD09 , 2H052AD18

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-192716
測距装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-292017 出願人：オリンパス光学工業株式会社
顕微鏡用オートフォーカスシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-266690 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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