インクジェットプリンタヘッド用ノズル板の製作方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-028091
公開番号（公開出願番号）：特開平8-216414
出願日： 1995年02月16日
公開日（公表日）： 1996年08月27日
要約：

【要約】【目的】高速で高精細な印字用のマルチノズル板を安価に製作する。【構成】従来のインクジェットヘッド用のノズル板は、電気導体の基板1にノズルを作るための円形レジストパターン2とノズル板を分離する分離帯のもととなる絶縁性外形枠を形成して、フォトエレクトロフォーミング法により作られる。しかし、絶縁性外形枠は、電解めっき時、電界の不均一を生じさせ、この分めっき厚さが不均一となり結果的にノズル直径に変化を与えるので、絶縁性外形枠を取り除いて均一なノズル直径とノズル形状を有するめっきによる金属板7を作る。

請求項（抜粋）：

導体基板上に、ノズルを形成するための絶縁性薄膜と、前記ノズルを有する各々のノズル板を分離するための分離帯のもととなる絶縁性外形枠とを配置し、前記絶縁性薄膜と絶縁性外形枠の周囲をめっき金属で覆い、該めっき金属によりノズル板を形成するフォトエレクトロフォーミング法によるノズル板の製作方法において、前記ノズル板の絶縁性外形枠を除去することを特徴とするインクジェットプリンタヘッド用ノズル板の製作方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-295659
特開平4-182134
特開平3-049960

前のページに戻る